Высокая температура тонкого пленка тепловая тепловая датчик

Высокотемпературные тонкопленочные потоки, как правило, состоят из слоя термического сопротивления и тонкого пленкового термометра. Термический устойчивый слойПьезос дисков преобразовательОбычно использует материал PZT с небольшой теплопроводностью, так что термометры с обеих сторон могут получить большую разницу температуры, тем самым получая более сильный сигнал и более высокую чувствительность. Тонкий слой термометра обычно представляет собой тонкую пленку термопару или датчик температуры сопротивления. Полиимид обладает высокой термической сопротивлением и хорошими механическими свойствами. Термический тепловой тепловой проток в виде слоя термического сопротивления может использоваться ниже 400 ° C. КремнеземПьезоэлектрический датчик эффектаимеет низкую теплопроводность и хорошие механические свойства. Следовательно, в качестве материала термического устойчивого слоя наиболее высокотемпературных тонкоплентных термических измерителей теплового потока, этот измеритель теплового потока может использоваться при температуре 900 ° C. Высокотемпературные тонкопленочные расходы могут использовать керамические материалы предшественника в качестве слоев RTD и термического сопротивления. Предшественник Piezo Ceramics имеет высокотемпературный термический измеритель теплового потока для аэро-двигательной среды был изготовлен с грехом 250 мкм в среднем термическом барьерном слое. Термический расход может использоваться при температуре около 1 400 ° C.

Многофункциональные интегрированные тонкопленочные датчики интегрируются с высокотемпературным тонкопленочным штаммомПьезоэлектрическая трубка датчик, термометры и тепловые расходы. Это сложно, потому что у трех датчиков есть разные принципы восприятия, разные структуры и разные размеры. Многофункциональный интегрированный тонкопленочный датчик был разработан для одновременного измерения деформации, температуры и теплового потока, где измеряет датчик деформации Pt PT-13RH/PT. Термопара измеряет температуру, 2 слоя различной толщины слоя термического сопротивления глинозема и 40 пар тепло -теплового теплового теплового теплового теплового теплового теплового теплового тепло. Чтобы преодолеть рабочую температуру сплавных материалов, НАСА дополнительно разработало многофункциональный интегрированный тонкопленочный датчик для керамических материалов для загара.

АПьезоэлектрическая пластина датчикаИспользует процесс отключения для паттерна коэффициента деформации 3,9, TCR -93 × 10-6 ℃ -1, удельное сопротивление 259 мкм, кажущаяся чувствительность деформации -24 × 10-6 ℃ -1. TCR пьезо керамических материалов и сплавов является отрицательным, НАСА разработало многофункциональные высокотемпературные тонкопленочные датчики для пьезой керамики. ЭтиПьезоэлектрические кольца датчикаВключите высокотемпературные тонкопленочные датчики деформации, высокотемпературные тонкопленочные термопары и высокотемпературные тонкие тепловые тепловые метолисты. TCR PD-13CR является положительным. Два вместе представляют собой функциональный слой, который делает TCR положительным и отрицательным смещением частью,пьезоэлектрические материалы пьезоrуменьшает общий TCR, тем самым повышая чувствительность. Многофункциональный тонкопленочный датчик имеет проблемы с размахиванием и диффузией, проблемы совместимости процесса очистки и высокотемпературных проблем расширения.