Чувствительные материалы являются основными компонентами высокотемпературных тонкопленочных датчиков. Их химическая и электрическая стабильность оказывают большое влияние напьезоэлектрические кольца Vibration SensorМожно ли использовать тонкопленочные датчики в суровых условиях. Виды чувствительных материалов, микроструктура чувствительного материала имеет собственную кристаллическую структуру, а свойства свободных носителей выполняют чувствительность к коэффициенту изготовленного тонкопленочного датчика. В целом, манометр штамма сплавной пленки имеет самый низкий фактор.пьезоэлектрический керамический датчик дискаявляется полупроводниковым тонким пленкой.
сопутствующийэффективная чувствительность
Чем более высокий коэффициент деформации высокой температуры имеет тонкую пленку деформацию, более высокий коэффициент высокой температурыМатериал PZT пьезоэлектрический датчикТермопару с тонкой пленкой, и более высоким температурным коэффициентом сопротивления является тонкоплентная RTD, более высокая чувствительность и тем легче измерение сигнала, но чувствительность высокотемпературного датчика тонкого пленки сделана из различных чувствительных пьезо. Анкет Высокотемпературные тонкопленочные датчики деформации изготовлены из высокотемпературных сплавов, как правило, имеют коэффициент деформации от 1 до 3, в то время как обычные датчики пьезой керамики имеют немного более высокий коэффициент деформации от 3 до 9, но они сопоставимы с таковые из полупроводниковых датчиков штаммов (от 100 до 200). Что еще недостаточно высока. Коэффициент тонкоплентной термопары изготовлен из сплава низкий, коэффициент Seebeck тонкоплентной термопары изготовлен из пьезой керамики немного высок.
Pвысокая температура
Чувствительные материалы несут задачу генерирования сигналов и могут переносить ограниченные температуры. Когда температура превышает определенную температуруультразвуковая пьезоэлектрическая керамическая трансдукацияrПроисходит фазовое изменение или даже взломать чувствительный пьезовый материал, что влияет на электрические характеристики и в конечном итоге приводит к разрушению тонкого пленку. В настоящее время сплав может выдержать температуру 1 100 ° C, а пьезой керамика может выдерживать температуру 1 500 ° C. В высокотемпературных приложениях (таких как зоны высокой температуры аэрорингинов), температура превысила 1700 ° C. В настоящее время высокотемпературные тонкопленочные датчики больше не могут выходить на выбор пьезообразных материалов и процессов, которые более устойчивы к высоким температурам и могут выдерживать датчик более высоких температур.
МагистрПроцесс изготовления чувствительного пьезо
Пьезоэлектрические керамические датчикиявляются чувствительными материалами и имеют характеристики высокотемпературной устойчивости и устойчивости к окислению. Первоначальное состояние - жидкость. После отверждения света или термореакции при температуре от около 90 ° C до примерно 100 ° C температура составляет от 300 ° C до 600 ° C. Сшивание проводится, и предшественник пьезой керамика, наконец, пиролизуется при температуре около 1000 ° C. Предшественник пьезокерамика стабильно работает при температуре выше 1 400 ° C, но сокращается во время сшивки и пиролиза, как правило, сокращается примерно на 30%. Добавление наполнителей может уменьшить усадку. Существуют зрелые процессы для изготовления частей тела с использованием датчика вибрации пьезоэлектрического диска предшественника, но есть несколько сообщений о их тонких процессах паттерна пленки. Нет отчета о процессе создания паттернов тонких пленок PDC на сплавах с никель-базой. Следовательно, использование пьезой керамики для изготовления представляет собой высокотемпературные тонкопленочные датчики требует разрешения усадки. Это проблемы и проблемы процесса разработки. Выбор правильного материала может улучшить коэффициент чувствительности высокотемпературного тонкопленочного датчика. Коэффициент чувствительности высокотемпературного датчика тонкого пленки также может быть улучшен путем изменения состава чувствительного материала путем легирования многослойных чувствительных материалов.
