Процессы производства часто влияют на производительность высокой температурыпьезоэлектрический датчик вибрацииАнкет Это отжигание, легирование атмосферы, распыляющее давление, температура и другие параметры процесса оказывают большое влияние на коэффициент чувствительности, это температура и стабильность высокотемпературного датчика тонкопленки. Эти параметры процесса часто влияют на плотность, кристаллическую структуру и т. Д. Пьезо, в определенной степени вызывают изменения в свойствах материала, что в конечном итоге влияет на параметры производительности высокотемпературного датчика тонкого пленки. Он выбирает правильные параметры процессаПьезоэлектрический керамический преобразовательимеет решающее значение для производства тонких пленок с лучшей производительностью. Например, отжиг при высокой температуре и атмосфере, который оказывает влияние на пленочную структуру и сопротивление листа тонкопленочных датчиков штамма PDCR, которые могут генерировать оксид хрома на поверхности пленки, тем самым лучше защищать датчики деформации и уменьшать удельное сопротивление пьезо.
Поверхность паттерна
Обычные производственные процессы, как правило, используют магнетроновое распыление для генерации различных слоев высокотемпературной тонкой пленкиPZT Piezo CeramicАнкет Когда требуется, чтобы компоненты или конструкции были изогнутыми поверхностями, создание маски затруднено. Кроме того, высокотемпературные тонкопленочные датчики имеют небольшую ширину и многослойные тонкие пленки. Следовательно, выравнивание сложнее. В частности, когда производится многофункциональный интегрированный высокотемпературный преобразователь тонкого пленки, толщина и рисунок каждого функциональногопьезо датчик вибрацииМодуль отличается, и еще более удобно создавать изогнутые поверхности.
Высокая температура процесса
Плотность и микроструктура датчика Pipiezoelectric Knock производятся, разные процессы различны, и полученные характеристики также могут быть разными. После увеличения требований к процессу изготовления тонкопленочных датчиков работают при более высоких температурах, многие параметры процесса должны быть повторно оптимизированы. Например, когда изложенный маномотреной тонкопленочной деформации сплай высокая температура. Когда температура нагреваПьезоэлектрическое давление давлениядостигает 800 ° C ~ 900 ° C, полученный преобразователь пленки из алюминия может использоваться при температуре 1 100 ° C При применении среды более 1 100 ° C, температура субстрата должна быть повторно оптимизирована.
