Нанесение пьезоэлектрических тонких пленок материалов

Пьезоэлектрические пленки широко используются из -за их превосходной производительности. Пленки пьезоэлектрических толстых могут быть использованы для производства различных микроустройств, таких как микропумпы, ультразвуковые двигатели, резонаторы, пленочные датчики с пироэлектрическими пленками, толстые пленки, пикапы микроэнергетики и т. Д.

1. Гидрофон и сонар

Гидрофоны с одной диафрагмой General Electric Company с пьезоэлектрической пленкой толщиной 2,5 мкм F в виде подложки,Пьезой керамический дискможет использоваться в медицинских и NDE -преобразователях и может использоваться в диапазоне от 0,5 до 50 Гц характеристики и калибровки. Из-за долгосрочной стабильности и повторяемости этих устройств эти характеристики гидрофонов были использованы для разработки нового типа многомерного прибора. Сканирующая система сканирования воды состоит из 100 гидрофонов подложки PVDF для подводных безопасности/спасательных устройств. Это устройство было произведено несколько лет назад. Система использует пассивный режим с рабочей частотой от 1 до 1000 Гц. Он также может работать на трех разных частотах в активном режиме. Это может быть обнаружено с помощью этой системы небольшие подводные лодки на расстоянии до 3 км, также могут обнаружить двигатели на расстоянии до 600 м, а угловое отклонение составляет менее 5 '. Недавняя модель расчета гидрофонов показывает, что если элемент PVD F правильно спроектирован, гидрофон может обнаружить сигналы более 10 дБ в демонстрации системы.

2. Антиформирование

Piezo Film имеет очень широкие перспективы в антипроводных приложениях. В настоящее время Национальный институт исследований и Монтрихский университет провели исследование по борьбе с пьезоэлектрическими фильмами. Пьезоэлектрическая пленка, как было доказано, более эффективна для измерения вибрации полимера в оболочке. Следовательно, его можно использовать для предотвращения подхода большинства морских организмов, который вызовет загрязнение кораблей. Кроме того, Институт научных исследований Delft в Нидерландах расширяет выводы, которые он получил для более крупных металлических структур, таких как раковины торговых кораблей. В то же время тот же принциппьезо керамический диск кристаллизучается, как производить антифризы поверхностей на самолетах.

3. Медицина

В настоящее время люди активно изучают применение PVDF в медицине. Во многих странах многие дети умирают от СВДС или других синдромов каждый год. Чтобы снизить внезапный уровень смертности от младенцев, по крайней мере три компании в Нидерландах, и Соединенные Штаты производят респираторный монитор. А

Этот монитор ставит коврик с пьезоэлектрической пленкой PVD F под корпусом ребенка, чтобы постоянно контролировать небольшую вибрацию, вызванную дыханием и сердцебиением (особенно ночью), когда интервал дыхания или сердцебиения превышает за предварительно установленное время, скажем, 20 S, это вызовет тревогу, которая может предотвратить удушье и смерть ребенка во времени и эффективно.

4. Электроды

Если внешняя поверхность электрода покрыта слоем пьезоэлектрического полимера PVDF, она может преобразовать информацию, такую ​​как вибрация, удар, давление, напряжение и напряжение в электрические сигналы. Для этого типа электрода для квазистатического ввода от низкой частоты до высокой частоты его выход всегда может сохранить свои частотные характеристики, а выход электрического сигнала имеет линейное соотношение с приложенным давлением. В то же время этот электрод также обладает хорошей стабильностью температуры, подходящей для различных сред от 40 ~ 70 ℃. Диапазон обычно составляет от 0,25 до 25 p C/n. Повернув узкий пьезоэлектрический лист в круг, можно получить чувствительный пьезоэлектрический электрод со значением 40 p/n.

5. Авиация и навигация

Портативная система автоматической удаленной инспекции \ », разработанная в результате исследования, сокращенно, является одним из первых передовых устройств для входа в товарную эру. Эта система специально предназначена для проверки слоистых конструкций крупных районов или композитных структур.

Ключевым элементом является деформируемая PVDF пьезоэлектрическая пленка 200 × 200 мм, которая содержит 1024 преобразователей. Гибкость этой пленки очень хороша, и она может полностью соответствовать изогнутой поверхности с радиусом кривизны 4. Устройство подключенного к нему также имеет ручной контроллер, пробоотборник данных и отображаемое устройство.

Этот приемник имеет общее соотношение сигнал / шум 100 дБ и центральную частоту 2,5 м ГС. Графито-эпоксические композиты на самолетах или крупных конструкциях на кораблях могут использоваться для удобного тестирования. Для алюминия и стали удовлетворительные результаты уже были получены в этом отношении. Для этого конкретного применения PVD F было обнаружено, что пленка с двухосной полярностью является более подходящей, чем одноосная полярность.

6. Структурный мониторинг

ПВД F Пьезоэлектрическая пленка также имеет определенные применения в структурном мониторинге. Было проведено систематическое исследование основных характеристик структуры мониторинга пьезоэлектрической пленки PVD F. Был проведен динамический и статический ответ на структуру мониторинга пьезоэлектрической пленки PVDF. В то же время было также проведено предварительное исследование влиятельной нагрузки структуры с использованием пьезоэлектрической пленки PVDF. Анкет

Как применениеПьезоэлектрические диски преобразовательвсе более и более обширно, он будет хорошо развит в будущем. Технология производства пьезоэлектрической тонкой пленки также будет развиваться в направлении высокой эффективности, низкой стоимости и высокого качества. Поскольку метод сердечно-сосудистых заболеваний имеет лучшее покрытие, он может быть осажден на глубокие отверстия, шаги, депрессии или другие сложные трехмерные формы. В добавлении метод осаждения химического пара также может контролировать стехиометрическое соотношение подготовленной пленки в широком диапазоне, что очень заметно по сравнению с другими методами. Стоимость и эксплуатационные затраты оборудования для химического отложения паров относительно низки, подходят как для партийного производства, так и для непрерывного производства, и имеют хорошую совместимость с другими процедурами обработки. Следовательно, в будущем использование метода CVD для приготовления пьезоэлектрических пленок будет хорошо применено, а пьезоэлектрические пленки будут лучше использовать.