Пьезоэлектрические пленки широко используются из -за их превосходной производительности. Пленки из пьезоэлектрических толстых могут быть использованы для производства различных микроустройств, таких как микропумпы, ультразвуковые двигатели, резонаторы, пленочные датчики с пироэлектрическими пленками, толстые пленки, микроэнергетические пикапы и т. Д. 1. Гидроф