Термометр с высокой температурой включает в себя тонкую пленку термопару и детектор температуры сопротивления (RTD). Тонкопары с тонкими пленками могут использоваться при 1 000 ° C, но термопары дрейфуют из-за окисления германия в тонкой пленке. Слой защиты глинозема